委托方:某某智造技术有限公司(甲方)
研发方:某某(上海)技术有限公司(乙方)
本项目开发的目的:针对半导体工艺中经常需要对透射电子显微镜拍摄的图像中的图形的厚度、关键尺寸和扫描电子显微镜拍摄的图像中的图形CD等进行测量。但是在测量过程中需要对图形边界进行识别,以确保测量的准确性。不同的图形在SEM或TEM下其灰度差异会不同,而且当存在多种材质或图片中背景噪声不均匀时,对于准确获得测量结果存在不利影响。使用单一的阈值进行提取有时候难以准确提取图形的边界。因此如何设置合适的阈值以准确地提取图形的边界是现实中存在的一个难点。所以寻找专业技术开发团队,其目的为了解决技术开发的难点。
本项目开发的内容:1、设定边缘范围的长度等于预定范围;将各个灰度平均值分别作为中间范围内各个像素的修正灰度值。2、将具有大于阈值的修正灰度值的像素识别为图像中图形的边界点,可以有效降低不同灰度区域灰度值,通过精准测量,可以提高器件的可靠性和性能。3、通过图像采用高斯滤波或者中值滤波,以生成降噪的图像。能够有效提高图形边界区域的信号强度,从而提高图形尺寸量测精度。4、通过对图像进行处理,有助于识别边界位置。准确的识别边界位置能够使得在后续对图形进行测量过程中,获得更精确的测量结果,提高了芯片生产质量。
本项目撮合的体会:甲方根据开发的内容,委托我司技术服务平台寻找专业技术开发的企业,解决关键技术:我司通过多渠道寻找相对应的技术开发企业,推荐多家企业给甲方,经过多次的筛选,最终甲方选择了乙方,便签订了技术开发协议书,通过一年来的技术开发,达到了甲方的技术要求,解决了技术难点,实现了双方的合作的效果,体现了我司为专业的集成电路企业,为长三角一体化整合技术创新的平台。
上海市普陀区江宁路1165号圣天地商务楼1612室
电话: 021-32567811、021-32567822
传真: 021-32567822*803
邮箱: qinghuish@sina.com